Целями для распыления тантала являются танталовые материалы высокой чистоты, предназначенные для осаждения тонких пленок в передовых технологиях. Их исключительная химическая инертность, термостойкость и низкое тепловое расширение обеспечивают однородные покрытия с превосходной адгезией и стабильностью, что делает их незаменимыми в производстве полупроводников, оптических покрытиях и исследовательских приложениях, где надежность и точность имеют первостепенное значение.
English
русский
